X射線熒光光譜儀（XRF）的核心檢測原理是“X射線激發-特征熒光發射-光譜解析”，通過原子的專屬“特征X射線熒光”實現元素定性與定量分析，屬于非破壞性元素檢測技術，核心邏輯是用“元素指紋”識別種類，用“信號強度”量化含量。
其完整檢測流程可分為三大關鍵步驟：
初級X射線激發樣品：儀器的X射線管通過高壓加速電子，撞擊陽極靶材（如Rh、Mo靶）產生連續X射線與靶材特征X射線，共同構成“初級X射線”。該射線穿透樣品表層（微米級深度），當能量高于樣品原子內層電子（如K層、L層）的結合能時，會將內層電子撞出，使原子處于不穩定的激發態。
特征X射線熒光發射：激發態原子需通過外層電子填補內層空位恢復穩定，電子從高能級向低能級躍遷時，釋放的能量差以“X射線熒光”形式輻射。這種熒光的能量由元素原子結構決定，是專屬“特征標識”（如Fe的Kα線約6.4keV，Pb的Kα線約74.9keV），如同元素的“指紋”。
光譜解析與定量：樣品發射的混合熒光經分光系統分離——波長色散型（WD-XRF）通過晶體衍射按波長拆分，能量色散型（ED-XRF）通過半導體探測器按能量區分。探測器將熒光信號轉化為電脈沖，脈沖幅度對應熒光能量（用于定性），脈沖數量對應熒光強度（與元素含量正相關）。數據系統對比元素特征能量數據庫確定元素種類，再通過標準曲線法（校準已知濃度標準樣品建立關聯）推算未知樣品的元素含量。
XRF的核心優勢源于其原理特性：無需復雜樣品前處理，不損壞樣品，檢測速度快（秒級至分鐘級）。適用檢測原子序數Z≥11（Na）至Z=92（U）的元素，無法檢測H、He等輕元素（內層電子結合能過低）。需注意的是，它僅能分析元素組成，不能識別化合物結構，且高濃度主量元素可能產生基體效應，需通過校準修正以保證檢測精度。
該原理使其廣泛應用于ROHS合規檢測、礦石品位分析、金屬材料成分篩查、土壤重金屬檢測等場景，兼顧快速篩查與精準定量需求。
更新時間：2025-11-30
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